레이저 현미경

샘플을 놓고 클릭하기만 하면 되는 전자동 측정을 실현한 레이저 현미경. 광학 현미경에서 SEM까지의 영역을 1대로 해결하는 관찰 능력, 각종 대상 물체의 형상을 순식간에 정확히 스캔하는 측정 능력, 여러 가지 분석 툴 등 관찰·측정·분석의 다양한 니즈에 대응할 수 있습니다.

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라인업

VK-X3000 시리즈 - 백색 간섭계 탑재 레이저 현미경

백색 간섭계 탑재 레이저 현미경 「VK-X3000 시리즈」는 레이저 공초점·백색 간섭·포커스 바리에이션의 세 가지 스캔 원리를 구분해서 사용하는 「트리플 스캔 방식」을 채택하여 다양한 대상 물체를 고정도로 측정·분석할 수 있습니다. 최고 분해능 0.01 nm 실현을 통해 나노 레벨의 미세한 형상 변화도 정확하게 측정할 수 있습니다. 최대 스캔 에어리어가 50 mm×50 mm이므로 큰 요철이나 손바닥 사이즈인 대상 물체도 통째로 스캔할 수 있으므로 전체 형상도 부분 형상도 모두 파악할 수 있습니다. 또한, 경면체·투명체와 같은 난이도가 높은 소재도 고속·고정도로 광범위하게 측정합니다. 고배율/저배율, 평면/요철/표면 거칠기, 경면/투명 등 대상 물체에 제한이 없는 완전히 새로운 레이저 현미경입니다.

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