분광 간섭 레이저 변위계

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라인업

세계 최초의 마이크로 헤드, 동급 최고의 측정 정도, 기존에는 생각할 수 없었던 고성능을 실현했습니다.

근적외 SLD를 채택하여 BG(백 그라인드) 테이프가 부착된 상태라도 웨이퍼의 두께만 정확하게 측정. 웨이퍼 표면의 패턴에 따른 편차가 있어도 인라인으로 정확하게 측정할 수 있습니다.