원 샷 3D 형상 측정기
VR-6000 시리즈
원 샷 3D 형상 측정기 헤드 (고사양 모델) VR-6200
사양
모델 | VR-6200 | |||
종류 | 헤드 | |||
컨트롤러 | VR-6000 | |||
관찰 시야 | 저배율(광시야) | 15인치 모니터 상에서의 배율 12× | 가로 | 24.0 mm |
세로 | 18.0 mm | |||
15인치 모니터 상에서의 배율 25× | 가로 | 12.0 mm | ||
세로 | 9.0 mm | |||
15인치 모니터 상에서의 배율 38× | 가로 | 8.0 mm | ||
세로 | 6.0 mm | |||
15인치 모니터 상에서의 배율 50× | 가로 | |||
세로 | 4.5 mm | |||
고배율(고해상도) | 15인치 모니터 상에서의 배율 40× | 가로 | 7.6 mm | |
세로 | 5.7 mm | |||
15인치 모니터 상에서의 배율 80× | 가로 | 3.8 mm | ||
세로 | 2.9 mm | |||
15인치 모니터 상에서의 배율 120× | 가로 | 2.5 mm | ||
세로 | 1.9 mm | |||
15인치 모니터 상에서의 배율 160× | 가로 | |||
세로 | 1.4 mm | |||
줌 | 1 ~ 4 배 | |||
높이 측정 | 표시 분해능 | 0.1 μm | ||
높이 측정 범위 | Z연결 없음 | 저배율(광시야): 10 mm | ||
Z연결 있음 | 저배율(광시야): 50 mm | |||
반복 정도σ | Z연결 없음 | 0.4 μm *1 | ||
Z연결 있음 | 1.0 μm *1 | |||
정확도 | Z연결 없음 | ±2.5 μm *1 | ||
Z연결 있음 | ±4.0 μm *1 | |||
폭 측정 | 반복 정도σ | 저배율(광시야): 1 μm | ||
정확도 | 저배율(광시야): ±5 μm | |||
연결 기능 | 전자동 측정(XY 자동 제어+Z 자동 제어, θ 자동 제어), 자동 맵 화상 작성, 자동 영역 설정 | |||
연결 기능 | 전동 회전 유닛 | 대응 | ||
XY 측정 가능 범위 | 300×150 mm | |||
스테이지 | XY 스트로크 | 278×134 mm(전동) | ||
Z 스트로크 | 69 mm(전동) | |||
내하중 | 4.5 kg | |||
작동 거리 | 75 mm | |||
촬상 소자 | 1인치 400만 화소 흑백 CMOS | |||
투광 렌즈 | 더블 텔레센트릭 렌즈 x 2 | |||
수광 렌즈 | 더블 텔레센트릭 렌즈 | |||
조명 시스템 | 관찰용 광원 | LED 링 조명(적색, 청색, 녹색) | ||
측정용 광원 | 백색 LED | |||
데이터 처리부 | KEYENCE 지정 전용 PC(OS는 Windows 10 Pro) | |||
전원 | 전원 전압 | 100~240 VAC±10% 50/60 Hz | ||
소비 전력 | 200 VA 이하 | |||
내환경성 | 사용 주위 온도 | +15~30℃ | ||
사용 주위 습도 | 20~80%RH(결로되지 않을 것) | |||
중량 | 약 28 kg *3 | |||
*1 당사 규정의 표준 게이지를 사용하여 당사 규정의 측정 모드로 측정했을 때의 값(주위 온도 23±1℃) |