이 모델은 단종되었습니다.

카메라, 프로브 x2, 스테이지 마커 XM-T1200

XM-T1200 - 카메라,  프로브 x2,   스테이지 마커

  • CE Marking
  • CSA

사양

모델

XM-T1200

종류

측정부(2프로브)
XM-T1200/M1200/S1200

카메라

촬상 소자

400만 화소 CMOS 화상 센서

수광 중심 파장

근적외광

측정 범위

600 mm×300 mm×200 mm

최소 표시 단위

거리

1 µm

각도

0.0001도

측정 정도

반복 정도

스테이지 잠금 시:±3 µm
스테이지 잠금 해제 시:±4 µm

지시 오차

스테이지 잠금 시:±8 µm*1
스테이지 잠금 해제 시:±(10+L/100) µm*2

스테이지부

내하중

25 kg

X축 가동 범위

±100 mm

회전 범위

±60°

프로브

프로브 수

2

스테이지 마커

마커 수

6

마커 광원

근적외광 LED 870 nm

프로브 접속 포트

2입력

콘솔 입력

전용 콘솔

외부 리모트 입력

무전압 입력(유접점/무접점) 2입력

인터페이스

통신(외부 통신)

USB2.0 시리즈 A 3계통

디스플레이

내장 디스플레이

15인치 LCD모니터(XGA:1024×768)

내환경성

사용 주위 온도

+10 ~ +35 °C

사용 주위 습도

20 ~ 85 % RH (결로되지 않을 것)

전원

전원 전압

전용 커넥터

커넥터 형상

중량

헤드: 약 39.6 kg (카메라·케이블 포함)
콘솔: 약 150 g (케이블 포함)

*1 ISO 10360-2 참고, 200×200×150 mm의 범위 내, 사용 주위 온도 23℃±1℃일 때
*2 ISO 10360-2 참고, 500×200×150 mm의 범위 내, 사용 주위 온도 23℃±1℃일 때

기타 모델