이미지 치수 측정 시스템

IM-7000 시리즈

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헤드 IM-7030T

IM-7030T - 헤드

  • CE Marking
  • CSA

사양

모델

IM-7030T

종류

헤드
가변 조명·라이트 프로브 유닛 탑재 접촉식 높이 측정 유닛 와이드 스테이지 모델

촬상 소자

1인치 660만 화소 흑백 CMOS

디스플레이

10.4인치 LCD 모니터 (XGA: 1024 × 768)

수광 렌즈

더블 텔레센트릭 렌즈

화상 측정

시야

광시야 측정 모드:300 × 200 mm (4모서리 R50)
고정도 측정 모드:225 × 125 mm

최소 표시 단위

0.1 µm

반복 정도

스테이지 이동 없음

광시야 측정 모드:±1 µm
고정도 측정 모드:±0.5 µm

스테이지 이동 있음

광시야 측정 모드:±2 µm
고정도 측정 모드:±1.5 µm

측정 정도 ±2σ

연결 없음

광시야 측정 모드:±5 µm*1
고정도 측정 모드:±2 µm*2

연결 있음

광시야 측정 모드:± (7 +0.02L) µm*3
고정도 측정 모드:± (4 +0.02L) µm*4

라이트 프로브측정

측정 가능 영역(XY)

190 × 90 mm

최대 측정 깊이

30 mm

라이트 프로브 직경

ø3 mm

측정력

0.015 N

반복 정도

±2 µm*5

측정 정도

±(8 + 0.02L) µm*6

높이 측정

측정 범위

0 ~ 75 mm

측정력

0.3 N

측정 위치 정도(XY)

±0.2 mm*7

최소 표시 단위

1 µm

측정 가능 영역(XY)

광시야 측정 모드:145 × 95 mm
고정도 측정 모드:107.5 × 95 mm

반복 정도

±2 µm*8

측정 정도

±7.5 µm*9

인터페이스

LAN

RJ-45 (10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

USB3.1

4포트(뒷면: 4포트)

USB2.0 시리즈 A

2포트(앞면: 2포트)

외부 리모트 입력

무전압 입력 (유접점/무접점)

외부 출력

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMos 출력
정격 부하: 24 VDC, 0.5A
ON 저항: 50 mΩ 이하

메모리

하드디스크 드라이브

500 GB

조명 시스템

투과

텔레센트릭 투과 조명

낙사

4분할 멀티 앵글 조명 (전동)
슬릿 링 (지향성) 조명 (전동)

XY 스테이지

이동 범위

200 × 100 mm (전동)

내하중

7.5 kg

Z 스테이지

이동 범위

75 mm (전동)

전원

전원 전압

100 ~ 240 VAC 50/60 Hz

소비 전류

430 VA 이하

내환경성

사용 주위 온도

+10 ~ 35℃

사용 주위 습도

20 ~ 80% RH (결로되지 않을 것)

중량

약 35 kg

*1 ø80 mm의 범위, 합초점 위치에서. 사용 주위 온도 +23 ±1℃일 때
*2 ø20 mm의 범위, 합초점 위치에서. 사용 주위 온도 +23 ±1℃일 때
*3 280 × 180 mm (4모서리 R40) 의 범위, 합초점 위치에서. 사용 주위 온도 +23 ±1℃, 스테이지 적재 중량 3 kg 이하일 때. L은 스테이지 이동량 (mm)
*4 220 × 120 mm의 범위, 합초점 위치에서. 사용 주위 온도 +23 ±1℃, 스테이지 적재 중량 3 kg 이하일 때. L은 스테이지 이동량 (mm)
*5 검출 방법이 표준일 때. 검출 방법이 깊은 위치용일 때는 ±3 µm
*6 검출 방법이 표준, 사용 주위 온도 +23 ±1℃, 스테이지 적재 중량 3 kg 이하일 때. 검출 방법이 깊은 위치용일 때는 ±(10 + 0.02L) µm. L은 측정 길이(mm)
*7 사용 주위 온도 +23 ±1℃일 때
*8 측정 최대 높이 설정 30 mm 이하일 때. 측정 최대 높이 설정 30 mm를 초과하여 75 mm까지는 ±3 µm
*9 측정 최대 높이 설정 30 mm 이하일 때. 측정 최대 높이 설정 30 mm를 초과하여 75 mm까지는 ±9.5 µm

기타 모델