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  3. 이미지 치수 측정 시스템
  4. 이미지 치수 측정 시스템
  5. 모델
  6. 컨트롤러

이미지 치수 측정 시스템IM-8000 시리즈

컨트롤러

IM-8000

사양

언어 선택

모델

IM-8000

종류

컨트롤러

촬상 소자

1인치 2000만 화소 흑백 CMOS

디스플레이

12.1인치 LCD 모니터(WXGA: 1280×800)

수광 렌즈

더블 텔레센트릭 렌즈

화상 측정

시야

광시야 측정 모드

IM-8005: ø 100 mm
IM-8020: 200 mm×200 mm (4모서리 R50)
IM-8030: 300 mm×200 mm (4모서리 R50)

고정도 측정 모드

IM-8005: 25 mm×25 mm
IM-8020: 125 mm×125 mm
IM-8030: 225 mm×125 mm

최소 표시 단위

0.1 μm

반복 정도

광시야 측정 모드

스테이지 이동 없음

±1 μm

스테이지 이동 있음

IM-8005: -
IM-8020: ±2 μm
IM-8030: ±2 μm

고정도 측정 모드

스테이지 이동 없음

±0.5 μm

스테이지 이동 있음

IM-8005: -
IM-8020: ±1.5 μm
IM-8030: ±1.5 μm

측정 정도 ±2σ

광시야 측정 모드

연결 없음

±3.9 μm *1

연결 있음

IM-8005: -
IM-8020: ±(7+0.02L) μm *2
IM-8030: ±(7+0.02L) μm *3

고정도 측정 모드

연결 없음

±2 μm *4

연결 있음

IM-8005: -
IM-8020: ±(4+0.02L) μm *5
IM-8030: ±(4+0.02L) μm *6

외경 측정

측정 정도

광시야 측정 모드

IM-8005: ±(2.8+0.02D) μm *7
IM-8020: ±(2.8+0.02D) μm *8
IM-8030: ±(2.8+0.02D) μm *9

고정도 측정 모드

IM-8005: ±(1.4+0.04D) μm *10
IM-8020: ±(1.4+0.04D) μm *11
IM-8030: ±(1.4+0.04D) μm *12

라이트 프로브 측정

측정 가능 영역(XY)

IM-8005: -
IM-8020: 90 mm×90 mm
IM-8030: 190 mm×90 mm

최대 측정 깊이

IM-8005: -
IM-8020: 30 mm
IM-8030: 30 mm

라이트 프로브 직경

IM-8005: -
IM-8020: ø3 mm
IM-8030: ø3 mm

측정력

IM-8005: -
IM-8020: 0.015 N
IM-8030: 0.015 N

반복 정도

IM-8005: -
IM-8020: ±2 μm *13
IM-8030: ±2 μm *13

측정 정도

IM-8005: -
IM-8020: ±(8+0.02L) μm *14
IM-8030: ±(8+0.02L) μm *15

외부 리모트 입력

무전압 입력(유접점/무접점)

외부 출력

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMos 출력
정격 부하 24 VDC 0.5 A
ON 저항 50 mΩ 이하

인터페이스

LAN

RJ-45(10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

USB 3.1

4포트(뒷면 4)

USB 2.0 시리즈A

4포트(앞면 2, 뒷면 2)

모니터 출력

DVI-D

메모리

하드디스크 드라이브

500 GB

조명 시스템

투과

텔레센트릭 투과 조명

낙사

IM-8005: 4분할 링 조명
IM-8020: 4분할 멀티 앵글 조명(전동), 슬릿 링(지향성) 조명(전동)
IM-8030: 4분할 멀티 앵글 조명(전동), 슬릿 링(지향성) 조명(전동)

XY 스테이지

이동 범위

IM-8005: -
IM-8020: 100 mm×100 mm(전동)
IM-8030: 200 mm×100 mm(전동)

내하중

IM-8005: 5 kg
IM-8020: 5 kg
IM-8030: 7.5 kg

Z 스테이지

이동 범위

75 mm(전동)

전원

전원 전압

100~240 VAC ± 10% 50/60 Hz

소비 전력

430 VA 이하

내환경성

사용 주위 온도

+10~35℃

사용 주위 습도

20~80%RH(결로되지 않을 것)

과전압 카테고리

오염 등급

2

중량

약 8 kg

*1 ø80 mm의 범위, 합초점 위치에서 사용 주위 온도 +23±1℃일 때
*2 180 mm×180 mm(4모서리 R40)의 범위, 합초점 위치에서 사용 주위 온도 +23±1℃, 스테이지 적재 중량 2 kg 이하일 때. L은 스테이지 이동량 (mm)
*3 280 mm×180 mm(4모서리 R40)의 범위, 합초점 위치에서, 사용 주위 온도 +23±1℃, 스테이지 적재 중량 3 kg 이하일 때. L은 스테이지 이동량(mm)
*4 ø20 mm의 범위, 합초점 위치에서 사용 주위 온도 +23±1℃일 때
*5 120 mm×120 mm의 범위, 합초점 위치에서, 사용 주위 온도 +23±1℃, 스테이지 적재 중량 2 kg 이하일 때. L은 스테이지 이동량(mm)
*6 220 mm×120 mm의 범위, 합초점 위치에서, 사용 주위 온도 +23±1℃, 스테이지 적재 중량 3 kg 이하일 때. L은 스테이지 이동량(mm)
*7 L18 mm×ø60 mm의 범위. 합초점 위치에서 대상 물체를 렌즈 시야 중앙에 배치하고 대상 물체의 축 방향을 렌즈 시야 수평 방향으로 향했을 때. 사용 주위 온도 +23±1℃, D는 Y 방향 거리(mm)
*8 L118 mm×ø60 mm의 범위. 합초점 위치에서 대상 물체를 렌즈 시야 중앙에 배치하고 대상 물체의 축 방향을 렌즈 시야 수평 방향으로 향했을 때. 사용 주위 온도 +23±1℃, D는 Y 방향 거리 (mm)
*9 L218 mm×ø60 mm의 범위. 합초점 위치에서 대상 물체를 렌즈 시야 중앙에 배치하고 대상 물체의 축 방향을 렌즈 시야 수평 방향으로 향했을 때. 사용 주위 온도 +23±1℃, D는 Y 방향 거리(mm)
*10 L6 mm×ø20 mm의 범위. 합초점 위치에서 대상 물체를 렌즈 시야 중앙에 배치하고 대상 물체의 축 방향을 렌즈 시야 수평 방향으로 향했을 때. 사용 주위 온도 +23±1℃, D는 Y 방향 거리(mm)
*11 L106 mm×ø20 mm의 범위. 합초점 위치에서 대상 물체를 렌즈 시야 중앙에 배치하고 대상 물체의 축 방향을 렌즈 시야 수평 방향으로 향했을 때. 사용 주위 온도 +23±1℃, D는 Y 방향 거리(mm)
*12 L206 mm×ø20 mm의 범위. 합초점 위치 에서 대상 물체를 렌즈 시야 중앙에 배치하고 대상 물체의 축 방향을 렌즈 시야 수평 방향으로 향했을 때. 사용 주 위 온도 +23±1℃, D는 Y 방향 거리(mm)
*13 검출 방법이 표준일 때. 검출 방법이 깊은 위치용일 때는 ±3 μm
*14 검출 방법이 표준, 사용 주위 온도 +23±1℃, 스테이지 적재 중량 2 kg 이하일 때. 검출 방법이 깊은 위치용일 때는 ±(10+0.02L) μm. L은 측정 길이(mm)
*15 검출 방법이 표준, 사용 주위 온도 +23±1℃, 스테이지 적재 중량 3 kg 이하일 때. 검출 방법이 깊은 위치용일 때는 ±(10+0.02L) μm. L은 측정 길이(mm)

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