사양 멀티 컬러 레이저 동축 변위 센서 CL-3000 시리즈

모델

CL-L007G ^*1

CL-L015G ^*1

CL-L030G ^*1

CL-L070G ^*1

이미지

종류

광학 유닛

헤드

CL-L007 ^*1

CL-L015 ^*1

CL-L030 ^*1

CL-L070 ^*1

기준 거리

7 mm

15 mm

30 mm

70 mm

표준측정 범위

측정 범위

± 1.5 mm

± 1.3 mm

± 3.7 mm

± 10 mm

직선성

± 1.95 µm ^*2

± 0.36 µm ^*2

± 0.81 µm ^*2

± 2.0 µm ^*2

고정도측정 범위

측정 범위

± 0.5 mm

± 1.0 mm

± 3.0 mm

직선성

± 0.78 µm ^*2

± 0.28 µm ^*2

± 0.59 µm ^*2

± 1.9 µm ^*2

분해능

0.015 µm ^*3

0.003 µm ^*3

0.015 µm ^*3

0.025 µm ^*3

스폿 직경

ø 750 µm

ø 300 µm

ø 500 µm

ø 600 µm

레이저 등급

광학 유닛

1 등급

샘플링 주기

100/200/500/1000 µs (4 단계 가변)

내환경성

보호 구조

헤드

IP67(IEC60529)

사용 주위 조도

물체면 조도 30000 lux(백열등)

사용 주위 온도

0 ~ 50℃

사용 주위 습도

20 ~ 85%RH(결로되지 않을 것)

내진동

헤드

10 ~ 57 Hz　복진폭 1.5 mm　X, Y, Z 각 방향 2 시간

광학 유닛

10 ~ 57 Hz　복진폭 0.3 mm　X, Y, Z 각 방향 2 시간

내충격

15 G　6 ms

온도 특성

헤드

0.005% of F.S. /℃

광학 유닛

0.015% of F.S. /℃

재질

헤드

SUS

앞부분: SUS　뒷부분: 알루미늄

광학 유닛

폴리카보네이트

중량

헤드

약 140 g

약 180 g

약 200 g

약 280 g

광학 유닛

약 1600 g

모델

CL-P007G ^*1

CL-P015G ^*1

CL-P030G ^*1

CL-P070G ^*1

CL-PT010G ^*1

이미지

종류

광학 유닛

헤드

CL-P007 ^*1

CL-P015 ^*1

CL-P030 ^*1

CL-P070 ^*1

CL-PT010 ^*1

기준 거리

7 mm

15 mm

30 mm

70 mm

10 mm

표준측정 범위

측정 범위

± 1.5 mm

± 1.3 mm

± 3.7 mm

± 10 mm

± 0.3 mm

직선성

± 0.83 µm ^*2

± 0.36 µm ^*2

± 0.81 µm ^*2

± 2.0 µm ^*2

± 0.11 µm ^*2

고정도측정 범위

측정 범위

± 0.5 mm

± 1.0 mm

± 3.0 mm

± 0.15 mm

직선성

± 0.43 µm ^*2

± 0.28 µm ^*2

± 0.59 µm ^*2

± 1.9 µm ^*2

± 0.09 µm ^*2

분해능

0.015 µm ^*3

0.003 µm ^*3

0.015 µm ^*3

0.025 µm ^*3

0.001 µm ^*3

스폿 직경

ø 50 µm

ø 25 µm

ø 38 µm

ø 50 µm

ø 3.5 µm

레이저 등급

광학 유닛

1 등급

샘플링 주기

100/200/500/1000 µs (4 단계 가변)

내환경성

보호 구조

헤드

IP67(IEC60529)

IP64(IEC60529)

사용 주위 조도

물체면 조도 30000 lux(백열등)

사용 주위 온도

0 ~ 50℃

사용 주위 습도

20 ~ 85%RH(결로되지 않을 것)

내진동

헤드

10 ~ 57 Hz　복진폭 1.5 mm　X, Y, Z 각 방향 2 시간

10 ~ 57 Hz　복진폭 0.45 mm　X, Y, Z 각 방향 2 시간

광학 유닛

10 ~ 57 Hz　복진폭 0.3 mm　X, Y, Z 각 방향 2 시간

내충격

15 G　6 ms

온도 특성

헤드

0.005% of F.S. /℃

0.1% of F.S. /℃

광학 유닛

0.015% of F.S. /℃

재질

헤드

SUS

앞부분: SUS　뒷부분: 알루미늄

광학 유닛

폴리카보네이트

중량

헤드

약 140 g

약 180 g

약 200 g

약 280 g

약 1100 g

광학 유닛

약 1600 g

모델

CL-L007N ^*1

CL-L015N ^*1

CL-L030N ^*1

CL-L070N ^*1

이미지

종류

광학 유닛

헤드

CL-L007 ^*1

CL-L015 ^*1

CL-L030 ^*1

CL-L070 ^*1

기준 거리

7 mm

15 mm

30 mm

70 mm

표준측정 범위

측정 범위

± 1.5 mm

± 1.3 mm

± 3.7 mm

± 10 mm

직선성

± 2.1 µm ^*2

± 0.49 µm ^*2

± 0.94 µm ^*2

± 2.2 µm ^*2

고정도측정 범위

측정 범위

± 0.5 mm

± 1.0 mm

± 3.0 mm

직선성

± 0.91 µm ^*2

± 0.41 µm ^*2

± 0.72 µm ^*2

± 2.0 µm ^*2

분해능

0.25 µm ^*3

스폿 직경

ø 750 µm

ø 300 µm

ø 500 µm

ø 600 µm

레이저 등급

광학 유닛

1 등급

샘플링 주기

100/200/500/1000 µs (4 단계 가변)

내환경성

보호 구조

헤드

IP67(IEC60529)

사용 주위 조도

물체면 조도 30000 lux(백열등)

사용 주위 온도

0 ~ 50℃

사용 주위 습도

20 ~ 85%RH(결로되지 않을 것)

내진동

헤드

10 ~ 57 Hz　복진폭 1.5 mm　X, Y, Z 각 방향 2 시간

광학 유닛

10 ~ 57 Hz　복진폭 0.3 mm　X, Y, Z 각 방향 2 시간

내충격

15 G　6 ms

온도 특성

헤드

0.005% of F.S. /℃

광학 유닛

0.015% of F.S. /℃

재질

헤드

SUS

앞부분: SUS　뒷부분: 알루미늄

광학 유닛

폴리카보네이트

중량

헤드

약 140 g

약 180 g

약 200 g

약 280 g

광학 유닛

약 1600 g

모델

CL-P007N ^*1

CL-P015N ^*1

CL-P030N ^*1

CL-P070N ^*1

CL-PT010N^*1

이미지

종류

광학 유닛

헤드

CL-P007 ^*1

CL-P015 ^*1

CL-P030 ^*1

CL-P070 ^*1

CL-PT010 ^*1

기준 거리

7 mm

15 mm

30 mm

70 mm

10 mm

표준측정 범위

측정 범위

± 1.5 mm

± 1.3 mm

± 3.7 mm

± 10 mm

± 0.3 mm

직선성

± 0.96 µm ^*2

± 0.49 µm ^*2

± 0.94 µm ^*2

± 2.2 µm ^*2

± 0.22 µm ^*2

고정도측정 범위

측정 범위

± 0.5 mm

± 1.0 mm

± 3.0 mm

± 0.15 mm

직선성

± 0.55 µm ^*2

± 0.41 µm ^*2

± 0.72 µm ^*2

± 2.0 µm ^*2

± 0.2 µm ^*2

분해능

0.25 µm ^*3

스폿 직경

ø 50 µm

ø 25 µm

ø 38 µm

ø 50 µm

ø 3.5 µm

레이저 등급

광학 유닛

1 등급

샘플링 주기

100/200/500/1000 µs (4 단계 가변)

내환경성

보호 구조

헤드

IP67(IEC60529)

IP64(IEC60529)

사용 주위 조도

물체면 조도 30000 lux(백열등)

사용 주위 온도

0 ~ 50℃

사용 주위 습도

20 ~ 85%RH(결로되지 않을 것)

내진동

헤드

10 ~ 57 Hz　복진폭 1.5 mm　X, Y, Z 각 방향 2 시간

10 ~ 57 Hz　복진폭 0.45 mm　X, Y, Z 각 방향 2 시간

광학 유닛

10 ~ 57 Hz　복진폭 0.3 mm　X, Y, Z 각 방향 2 시간

내충격

15 G　6 ms

온도 특성

헤드

0.005% of F.S. /℃

0.1% of F.S. /℃

광학 유닛

0.015% of F.S. /℃

재질

헤드

SUS

앞부분: SUS　뒷부분: 알루미늄

광학 유닛

폴리카보네이트

중량

헤드

약 140 g

약 180 g

약 200 g

약 280 g

약 1100 g

광학 유닛

약 1600 g