사양 : 멀티 컬러 레이저 동축 변위 센서 - CL-3000 시리즈

광학 유닛・헤드 - 쿼드 타입 (수출 규제 해당품)

모델			CL-L007G ^*1	CL-L015G ^*1	CL-L030G ^*1	CL-L070G ^*1	CL-L150G
이미지
종류			광학 유닛
헤드			CL-L007 ^*1	CL-L015 ^*1	CL-L030 ^*1	CL-L070 ^*1	CL-L150 ^*1
기준 거리			7 mm	15 mm	30 mm	70 mm	150 mm
표준측정 범위	측정 범위		± 1.5 mm	± 1.3 mm	± 3.7 mm	± 10 mm	±35 mm
	직선성		± 1.95 µm ^*2	± 0.36 µm ^*2	± 0.81 µm ^*2	± 2.0 µm ^*2	±5.5 μm ^*2
고정도측정 범위	측정 범위		± 0.5 mm		± 1.0 mm	± 3.0 mm	±15 mm
	직선성		± 0.78 µm ^*2	± 0.28 µm ^*2	± 0.59 µm ^*2	± 1.9 µm ^*2	±4.5 μm ^*2
분해능			0.015 µm ^*3	0.003 µm ^*3	0.015 µm ^*3	0.025 µm ^*3	0.1 µm ^*3
스폿 직경			ø 750 µm	ø 300 µm	ø 500 µm	ø 600 µm	φ1000 μm
레이저 등급	광학 유닛		1 등급				1등급
샘플링 주기			100/200/500/1000 µs (4 단계 가변)				100/200/500/1000 μs(4단계 가변)
내환경성	보호 구조	헤드	IP67(IEC60529)
	사용 주위 조도		물체면 조도 30000 lux(백열등)
	사용 주위 온도		0 ~ 50℃				0~50℃
	사용 주위 습도		20 ~ 85%RH(결로되지 않을 것)				85%RH 이하(결로되지 않을 것)
	내진동	헤드	10 ~ 57 Hz　복진폭 1.5 mm　X, Y, Z 각 방향 2 시간				10~57 Hz　복진폭 1.5 mm　X, Y, Z 각 방향 2시간
		광학 유닛	10 ~ 57 Hz　복진폭 0.3 mm　X, Y, Z 각 방향 2 시간				10~57 Hz　복진폭 0.3 mm　X, Y, Z 각 방향 2시간
	내충격		15 G　6 ms
온도 특성	헤드		0.005% of F.S. /℃				0.005% of F.S./℃
	광학 유닛		0.015% of F.S. /℃				0.015% of F.S./℃
재질	헤드		SUS	앞부분: SUS　뒷부분: 알루미늄
	광학 유닛		폴리카보네이트
중량	헤드		약 140 g	약 180 g	약 200 g	약 280 g	약 380 g
	광학 유닛		약 1600 g
^1 헤드와 광학 유닛은 세트로 조정됩니다. 호환성은 없습니다. ^2 당사 기준 대상 물체(경면체)를 변위 모드로 측정한 값입니다. ^*3 당사 기준 대상 물체(경면체)를 평균 횟수 16384 회 측정한 값입니다.

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광학 유닛・헤드 - 스폿 타입 (수출 규제 해당품)

모델			CL-P007G ^*1	CL-P015G ^*1	CL-P030G ^*1	CL-P070G ^*1	CL-P150G
이미지
종류			광학 유닛
헤드			CL-P007 ^*1	CL-P015 ^*1	CL-P030 ^*1	CL-P070 ^*1	CL-P150 ^*1
기준 거리			7 mm	15 mm	30 mm	70 mm	150 mm
표준측정 범위	측정 범위		± 1.5 mm	± 1.3 mm	± 3.7 mm	± 10 mm	±35 mm
	직선성		± 0.83 µm ^*2	± 0.36 µm ^*2	± 0.81 µm ^*2	± 2.0 µm ^*2	±5.5 μm ^*2
고정도측정 범위	측정 범위		± 0.5 mm		± 1.0 mm	± 3.0 mm	±15 mm
	직선성		± 0.43 µm ^*2	± 0.28 µm ^*2	± 0.59 µm ^*2	± 1.9 µm ^*2	±4.5 μm ^*2
분해능			0.015 µm ^*3	0.003 µm ^*3	0.015 µm ^*3	0.025 µm ^*3	0.1 μm
스폿 직경			ø 50 µm	ø 25 µm	ø 38 µm	ø 50 µm	φ75 μm
레이저 등급	광학 유닛		1 등급				1등급
샘플링 주기			100/200/500/1000 µs (4 단계 가변)				100/200/500/1000 μs(4단계 가변)
내환경성	보호 구조	헤드	IP67(IEC60529)
	사용 주위 조도		물체면 조도 30000 lux(백열등)
	사용 주위 온도		0 ~ 50℃				0~50℃
	사용 주위 습도		20 ~ 85%RH(결로되지 않을 것)				85%RH 이하(결로되지 않을 것)
	내진동	헤드	10 ~ 57 Hz　복진폭 1.5 mm　X, Y, Z 각 방향 2 시간				10~57 Hz　복진폭 1.5 mm　X, Y, Z 각 방향 2시간
		광학 유닛	10 ~ 57 Hz　복진폭 0.3 mm　X, Y, Z 각 방향 2 시간				10~57 Hz　복진폭 0.3 mm　X, Y, Z 각 방향 2시간
	내충격		15 G　6 ms
온도 특성	헤드		0.005% of F.S. /℃				0.005% of F.S./℃
	광학 유닛		0.015% of F.S. /℃				0.015% of F.S./℃
재질	헤드		SUS	앞부분: SUS　뒷부분: 알루미늄
	광학 유닛		폴리카보네이트
중량	헤드		약 140 g	약 180 g	약 200 g	약 280 g	약 380 g
	광학 유닛		약 1600 g
^1 헤드와 광학 유닛은 세트로 조정됩니다. 호환성은 없습니다. ^2 당사 기준 대상 물체(경면체)를 변위 모드로 측정한 값입니다. ^*3 당사 기준 대상 물체(경면체)를 평균 횟수 16384 회 측정한 값입니다. (CL-PT010/CL-PT010G만 평균 횟수 4096 회 측정한 값)

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광학 유닛・헤드 - 쿼드 타입

모델			CL-L007N	CL-L015N	CL-L030N	CL-L070N	CL-L150N
이미지
종류			광학 유닛
헤드			CL-L007 ^*1	CL-L015 ^*1	CL-L030 ^*1	CL-L070 ^*1	CL-L150 ^*1
기준 거리			7 mm	15 mm	30 mm	70 mm	150 mm
표준측정 범위	측정 범위		±1.5 mm	±1.3 mm	±3.7 mm	±10 mm	±35 mm
	직선성		±2.1 μm ^*2	±0.49 μm ^*2	±0.94 μm ^*2	±2.2 μm ^*2	±5.65 μm ^*2
고정도측정 범위	측정 범위		±0.5 mm		±1.0 mm	±3.0 mm	±15 mm
	직선성		±0.91 μm ^*2	±0.41 μm ^*2	±0.72 μm ^*2	±2.0 μm ^*2	±4.65 μm ^*2
분해능			0.25 μm ^*3
스폿 직경			φ750 μm	φ300 μm	φ500 μm	φ600 μm	φ1000 μm
레이저 등급	광학 유닛		1등급
샘플링 주기			100/200/500/1000 μs(4단계 가변)
내환경성	보호 구조	헤드	IP67(IEC60529)
	사용 주위 조도		물체면 조도 30000 lux(백열등)
	사용 주위 온도		0~50℃
	사용 주위 습도		85%RH 이하(결로되지 않을 것)
	내진동	헤드	10~57 Hz　복진폭 1.5 mm　X, Y, Z 각 방향 2시간
		광학 유닛	10~57 Hz　복진폭 0.3 mm　X, Y, Z 각 방향 2시간
	내충격		15 G　6 ms
온도 특성	헤드		0.005% of F.S./℃
	광학 유닛		0.015% of F.S./℃
재질	헤드		SUS	앞부분: SUS　뒷부분: 알루미늄
	광학 유닛		폴리카보네이트
중량	헤드		약 140 g	약 180 g	약 200 g	약 280 g	약 380 g
	광학 유닛		약 1600 g
^1 헤드와 광학 유닛은 세트로 조정됩니다. 호환성은 없습니다. ^2 당사 기준 대상 물체(경면체)를 변위 모드로 측정한 값입니다. ^*3 당사 기준 대상 물체(경면체)를 평균 횟수 16384회 측정한 값입니다.

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광학 유닛・헤드 - 스폿 타입

모델			CL-P007N	CL-P015N	CL-P030N	CL-P070N	CL-P150N
이미지
종류			광학 유닛
헤드			CL-P007 ^*1	CL-P015 ^*1	CL-P030 ^*1	CL-P070 ^*1	CL-P150 ^*1
기준 거리			7 mm	15 mm	30 mm	70 mm	150 mm
표준측정 범위	측정 범위		±1.5 mm	±1.3 mm	±3.7 mm	±10 mm	±35 mm
	직선성		±0.96 μm ^*2	±0.49 μm ^*2	±0.94 μm ^*2	±2.2 μm ^*2	±5.65 μm ^*2
고정도측정 범위	측정 범위		±0.5 mm		±1.0 mm	±3.0 mm	±15 mm
	직선성		±0.55 μm ^*2	±0.41 μm ^*2	±0.72 μm ^*2	±2.0 μm ^*2	±4.65 μm ^*2
분해능			0.25 μm
스폿 직경			φ50 μm	φ25 μm	φ38 μm	φ50 μm	φ75 μm
레이저 등급	광학 유닛		1등급
샘플링 주기			100/200/500/1000 μs(4단계 가변)
내환경성	보호 구조	헤드	IP67(IEC60529)
	사용 주위 조도		물체면 조도 30000 lux(백열등)
	사용 주위 온도		0~50℃
	사용 주위 습도		85%RH 이하(결로되지 않을 것)
	내진동	헤드	10~57 Hz　복진폭 1.5 mm　X, Y, Z 각 방향 2시간
		광학 유닛	10~57 Hz　복진폭 0.3 mm　X, Y, Z 각 방향 2시간
	내충격		15 G　6 ms
온도 특성	헤드		0.005% of F.S./℃
	광학 유닛		0.015% of F.S./℃
재질	헤드		SUS	앞부분: SUS　뒷부분: 알루미늄
	광학 유닛		폴리카보네이트
중량	헤드		약 140 g	약 180 g	약 200 g	약 280 g	약 380 g
	광학 유닛		약 1600 g
^1 헤드와 광학 유닛은 세트로 조정됩니다. 호환성은 없습니다. ^2 당사 기준 대상 물체(경면체)를 변위 모드로 측정한 값입니다.

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모델			CL-S015N	CL-V020G	CL-V050G	CL-PT010G ^*1
이미지
종류			광학 유닛
헤드			CL-S015 ^*1	CL-V020 ^*1	CL-V050 ^*1	CL-PT010 ^*1
기준 거리			15 mm	20 mm	50 mm	10 mm
표준측정 범위	측정 범위		±1.0 mm	±1.3 mm	±4 mm	± 0.3 mm
	직선성		±0.2 μm ^*2	±0.3 μm ^*2	±1.25 μm ^*2	± 0.11 µm ^*2
고정도측정 범위	측정 범위		-0.2 mm/-1.0 mm	±0.5 mm	±1.6 mm	± 0.15 mm
	직선성		±0.1 μm ^*2	±0.23 μm ^*2	±1.15 μm ^*2	± 0.09 µm ^*2
분해능			0.003 μm ^*3	0.01 μm ^*3	0.03 μm ^*3	0.001 µm ^*7
스폿 직경			φ10 μm	φ20 μm	φ40 μm	ø 3.5 µm
레이저 등급	광학 유닛		1등급			1 등급
샘플링 주기			100/200/500/1000 μs(4단 가변)			100/200/500/1000 µs (4 단계 가변)
내환경성	보호 구조	헤드	IP50	IP40　진공용 탈기 구조 ^*5		IP64(IEC60529)
	사용 주위 조도		물체면 조도 30000 lux(백열등)
	사용 주위 온도	헤드	-20~70℃	-20~200℃		0 ~ 50℃
		광학 유닛	0~50℃
	사용 주위 습도		85%RH 이하(결로되지 않을 것)			20 ~ 85%RH(결로되지 않을 것)
	내진동	헤드	10~57 Hz 복진폭 1.5 mm X, Y, Z 각 방향 2시간			10 ~ 57 Hz　복진폭 0.45 mm　X, Y, Z 각 방향 2 시간
		광학 유닛	10~57 Hz 복진폭 0.3 mm X, Y, Z 각 방향 2시간			10 ~ 57 Hz　복진폭 0.3 mm　X, Y, Z 각 방향 2 시간
	내충격		15 G　6 ms
	진공		진공 대응	초고진공 대응^*6
온도 특성	헤드		0.005% of F.S. /℃ ^*4	0.013% of F.S. /℃ ^*4	0.015% of F.S. /℃ ^*4	0.1% of F.S. /℃ ^*4
	광학 유닛		0.015% of F.S. /℃
재질	헤드		SUS303/304	SUS304		앞부분: SUS　뒷부분: 알루미늄
	광학 유닛		폴리카보네이트
중량	헤드		약 350 g	약 100 g		약 1100 g
	광학 유닛		약 1600 g
^1 헤드와 광학 유닛은 세트로 조정됩니다. 호환성은 없습니다. ^2 당사 기준 대상 물체(경면체)를 변위 모드로 측정한 값입니다. ^3 당사 기준 대상 물체(경면체)를 평균 횟수 16384회 측정한 값입니다. ^4 헤드와 대상물 사이를 SUS303(또는 SUS304)의 지그로 고정했을 경우의 숫자입니다. ^5 부속 스티커를 붙이면 IP50에 상응합니다 ^6 10^-6 Pa 환경에서 동작 검증 완료. ^*7 당사 기준 대상 물체(경면체)를 평균 횟수 16384 회 측정한 값입니다. (CL-PT010/CL-PT010G만 평균 횟수 4096 회 측정한 값)

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모델			CL-S015N	CL-V020N	CL-V050N	CL-PT010N
이미지
종류			광학 유닛
헤드			CL-S015 ^*1	CL-V020 ^*1	CL-V050 ^*1	CL-PT010 ^*1
기준 거리			15 mm	20 mm	50 mm	10 mm
표준측정 범위	측정 범위		±1.0 mm	±1.3 mm	±4 mm	±0.3 mm
	직선성		±0.35 μm ^*2	±0.45 μm ^*2	±1.4 μm ^*2	±0.22 μm ^*2
고정도측정 범위	측정 범위		-0.2 mm/-1.0 mm	±0.5 mm	±1.6 mm	±0.15 mm
	직선성		±0.25 μm ^*2	±0.38 μm ^*2	±1.3 μm ^*2	±0.2 μm ^*2
분해능			0.25 μm ^*3
스폿 직경			φ10 μm	φ20 μm	φ40 μm	φ3.5 μm
레이저 등급	광학 유닛		1등급
샘플링 주기			100/200/500/1000 μs(4단 가변)
내환경성	보호 구조	헤드	IP50	IP40　진공용 탈기 구조 ^*5		IP64(IEC60529)
	사용 주위 조도		물체면 조도 30000 lux(백열등)
	사용 주위 온도	헤드	-20~70℃	-20~200℃		0~50℃
		광학 유닛	0~50℃
	사용 주위 습도		85%RH 이하(결로되지 않을 것)
	내진동	헤드	10~57 Hz 복진폭 1.5 mm X, Y, Z 각 방향 2시간			10~57 Hz 복진폭 0.45 mm X, Y, Z 각 방향 2시간
		광학 유닛	10~57 Hz 복진폭 0.3 mm X, Y, Z 각 방향 2시간
	내충격		15 G　6 ms
	진공		진공 대응	초고진공 대응^*6		없음
온도 특성	헤드		0.005% of F.S. /℃ ^*4	0.013% of F.S. /℃ ^*4	0.015% of F.S. /℃ ^*4	0.1% of F.S. /℃ ^*4
	광학 유닛		0.015% of F.S. /℃
재질	헤드		SUS303/304	SUS304		앞부분: SUS　뒷부분: 알루미늄
	광학 유닛		폴리카보네이트
중량	헤드		약 350 g	약 100 g		약 1100 g
	광학 유닛		약 1600 g
^1 헤드와 광학 유닛은 세트로 조정됩니다. 호환성은 없습니다. ^2 당사 기준 대상 물체(경면체)를 변위 모드로 측정한 값입니다. ^3 당사 기준 대상 물체(경면체)를 평균 횟수 16384회 측정한 값입니다. ^4 헤드와 대상물 사이를 SUS303(또는 SUS304)의 지그로 고정했을 경우의 숫자입니다. ^5 부속 스티커를 붙이면 IP50에 상응합니다 ^6 10^-6 Pa 환경에서 동작 검증 완료.

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사양 멀티 컬러 레이저 동축 변위 센서 CL-3000 시리즈

광학 유닛・헤드 - 쿼드 타입 (수출 규제 해당품)

광학 유닛・헤드 - 스폿 타입 (수출 규제 해당품)

광학 유닛・헤드 - 쿼드 타입

광학 유닛・헤드 - 스폿 타입