마이크로 헤드형 분광 간섭 레이저 변위 센서

SI-F 시리즈

사양 마이크로 헤드형 분광 간섭 레이저 변위 센서 SI-F 시리즈

모델

SI-F01

SI-F10

SI-F80

이미지

종류

마이크로 헤드 타입

장거리 타입

두께 측정 타입

측정 범위

0.05~1.1mm *1

11.3~12.35 mm *5

0.05~1.1 mm *6
(검출 가능 거리 80~81.1 mm)

측정용 광원

적외 SLD 중심 파장 820nm 최대 0.6mW 1등급 레이저 제품(IEC60825-1)

스폿 직경

ø20µm *2

ø40µm *2

ø20µm *2

직선성

±0.2µm *3

±0.3µm *3

±0.2µm *7

분해능

0.001 µm*4

0.01 µm*4

0.001 µm*4

샘플링 주기

200µs

가이드용 광원

적색 반도체 레이저 655nm 출력 0.1mW 1등급 레이저 제품(IEC-60825-1)

LED 표시

측정 중심 부근:녹색 점등 측정 범위 안:주황색 점등 측정 범위 밖:주황색 점멸

온도 특성

0.01% of F.S.

내환경성

보호 구조

IP67

IP64

사용 주위 조도

백열 램프, 형광등: 10,000 lux 이하

사용 주위 온도

0 ~ +85 °C

0 ~ +40 °C

0 ~ +50 °C

사용 주위 습도

35 ~ 85 % RH (결로되지 않을 것)

내진동

10 ~ 55 Hz, 복진폭 1.5 mm, X,Y,Z 각 방향 2 시간

재질

SUS

재질

센서 헤드

분광 유닛

폴리카보네이트

중량

약 24 g (케이블 포함)

약 38 g (케이블 포함)

약 39 g (케이블 포함)

*1 센서 헤드 전면으로부터의 거리를 나타내고 있습니다. 또한 장거리 타입은 센서 헤드 전면으로부터의 거리에 따라 최대 ±0.2 mm의 개체차가 있습니다.
*2 측정 범위 내에서의 최소 스폿 직경을 나타냅니다.
*3 측정 대상은 글라스 표면이며 평균 횟수 256회로 설정해서 측정한 경우의 값
*4 측정 대상은 글라스 표면이며, 측정 범위 중심에서 평균 횟수 4096회로 설정하여 측정한 경우의 값
*5 센서 헤드 전면으로부터의 거리를 나타내고 있습니다. 또한 장거리 타입은 센서 헤드 전면으로부터의 거리에 따라 최대 ±0.2mm의 개체차가 있습니다.
*6 두께 측정 타입은 글라스 간의 틈새 두께의 측정 범위를 나타내고 있습니다. 검출 가능한 거리 범위 내에 측정 대상면에 들어오도록 해주십시오.
*7 측정 대상은 글라스 판 2장의 틈새 두께이며 평균 횟수 256회로 설정해서 측정한 경우의 값

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모델

SI-FA100*1

SI-FA103

이미지

종류

헤드 증설 유닛 *2

증설 컨트롤러 *2

분류형

SI-FA100

SI-FA103

분광 유닛 접속 대수

1대

표시

최소 표시 단위

없음

표시 범위

표시 주기

단자대

레이저 리모트 인터록 입력

없음 *3

타이밍 1 입력

리셋 1 입력

오토 제로 1 입력

레이저 오프 1/2 입력

아날로그 전압 출력

±10V×1출력 출력 임피던스 100Ω *3

아날로그 전류 출력

4~20 mA×1출력 최대 부하 저항 350 Ω *3

알람 출력

없음 *3

종합 판정 출력

확장 커넥터

타이밍 2 입력

리셋 2 입력

오토 제로 2 입력

프로그램 전환 입력

알람 출력

판정·바이너리 출력

바이너리 출력

스트로브 출력

바이너리 선택 출력

바이너리 선택 입력

RS-232C 인터페이스

없음

USB 인터페이스

Ethernet 인터페이스

주요 기능

12OUT 동시 측정 기능, 연산 기능, 평균 기능, 필터 기능, 교정 기능, 계측 기능,
측정값 알람 설정 기능, 공차 설정 기능, 오토 제로 기능, 데이터 스토리지 기능,
광량 모니터 기능, 8프로그램 메모리 기능, 간섭계 모드, 마스터 기능,
설정 지원 소프트웨어 접속 기능 기타

정격

전원 전압

메인 컨트롤러에서 공급

소비 전류

내환경성

사용 주위 온도

0 ~ +50 °C*4

사용 주위 습도

35 ~ 85 % RH (결로되지 않을 것)

내진동

10 ~ 55 Hz, 복진폭 0.5 mm, X,Y,Z 각 방향 2 시간

중량

약 300 g

*1 SI-F1000 단독으로 사용할 수 있습니다. 측정값 표시 및 설정 변경은 표시 패널(SI-FD500) 또는 설정 지원 소프트웨어(SI-H1)에서 가능합니다.
*2 증설 컨트롤러는 메인 컨트롤러에 최대 4대까지 접속할 수 있습니다.
*3 ・NPN 오픈 컬렉터의 출력 정격 최대 50 mA (40 V 이하), 잔류 전압 0.5 V 이하
・무전압 입력 정격 ON 전압 1 V 이하, OFF 전류 0.6 mA 이하
・본 기기의 각 입출력 회로 간은 일부의 내부가 공통으로 되어 있습니다. 배선이나 외부 기기 사이의 전위차로 인해 내부의 공통 단자 간에 전위차가 발생하지 않도록 해주십시오.
*4 증설 컨트롤러 수가 2 대 이상인 경우 사용 주위 온도는 0 ~ +40 °C 입니다.

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