사양 마이크로 헤드형 분광 간섭 레이저 변위 센서 SI-F 시리즈

모델		SI-F01	SI-F10	SI-F80
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종류		마이크로 헤드 타입	장거리 타입	두께 측정 타입
측정 범위		0.05~1.1mm ^*1	11.3~12.35 mm ^*5	0.05~1.1 mm ^*6 (검출 가능 거리 80~81.1 mm)
측정용 광원		적외 SLD 중심 파장 820nm 최대 0.6mW 1등급 레이저 제품(IEC60825-1)
스폿 직경		ø20µm ^*2	ø40µm ^*2	ø20µm ^*2
직선성		±0.2µm ^*3	±0.3µm ^*3	±0.2µm ^*7
분해능		0.001 µm^*4	0.01 µm^*4	0.001 µm^*4
샘플링 주기		200µs
가이드용 광원		적색 반도체 레이저 655nm 출력 0.1mW 1등급 레이저 제품(IEC-60825-1)
LED 표시		측정 중심 부근:녹색 점등 측정 범위 안:주황색 점등 측정 범위 밖:주황색 점멸
온도 특성		0.01% of F.S.
내환경성	보호 구조	IP67	IP64
	사용 주위 조도	백열 램프, 형광등: 10,000 lux 이하
	사용 주위 온도	0 ~ +85 °C	0 ~ +40 °C	0 ~ +50 °C
	사용 주위 습도	35 ~ 85 % RH (결로되지 않을 것)
	내진동	10 ~ 55 Hz, 복진폭 1.5 mm, X,Y,Z 각 방향 2 시간
재질		SUS
재질	센서 헤드
	분광 유닛	폴리카보네이트
중량		약 24 g (케이블 포함)	약 38 g (케이블 포함)	약 39 g (케이블 포함)
^1 센서 헤드 전면으로부터의 거리를 나타내고 있습니다. 또한 장거리 타입은 센서 헤드 전면으로부터의 거리에 따라 최대 ±0.2 mm의 개체차가 있습니다. ^2 측정 범위 내에서의 최소 스폿 직경을 나타냅니다. ^3 측정 대상은 글라스 표면이며 평균 횟수 256회로 설정해서 측정한 경우의 값 ^4 측정 대상은 글라스 표면이며, 측정 범위 중심에서 평균 횟수 4096회로 설정하여 측정한 경우의 값 ^5 센서 헤드 전면으로부터의 거리를 나타내고 있습니다. 또한 장거리 타입은 센서 헤드 전면으로부터의 거리에 따라 최대 ±0.2mm의 개체차가 있습니다. ^6 두께 측정 타입은 글라스 간의 틈새 두께의 측정 범위를 나타내고 있습니다. 검출 가능한 거리 범위 내에 측정 대상면에 들어오도록 해주십시오. ^*7 측정 대상은 글라스 판 2장의 틈새 두께이며 평균 횟수 256회로 설정해서 측정한 경우의 값

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모델			SI-F1000V	SI-FA100^*3
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종류			메인 컨트롤러	헤드 증설 유닛 ^*4
분류형			SI-F1000/SI-FD500	SI-FA100
분광 유닛 접속 대수			2대	1대
표시	최소 표시 단위		0.001µm	없음
	표시 범위		±999.999µm~±9999.99mm (7단계 선택 가능)
	표시 주기		10회/초
단자대	레이저 리모트 인터록 입력		무전압 입력 ^*1	없음 ^*1
	타이밍 1 입력
	리셋 1 입력
	오토 제로 1 입력
	레이저 오프 1/2 입력
	아날로그 전압 출력		±10V×2출력 출력 임피던스 100Ω ^*1	±10V×1출력 출력 임피던스 100Ω ^*1
	아날로그 전류 출력		4~20 mA×2출력 최대 부하 저항 350 Ω ^*1	4~20 mA×1출력 최대 부하 저항 350 Ω ^*1
	알람 출력		NPN 오픈 컬렉터 출력 (N.C.) ^*1	없음 ^*1
	종합 판정 출력		NPN 오픈 컬렉터 출력 ^*1
확장 커넥터	타이밍 2 입력		무전압 입력 ^*1
	리셋 2 입력
	오토 제로 2 입력
	프로그램 전환 입력		무전압 입력×3 입력 ^*1
	알람 출력		NPN 오픈 컬렉터 출력 (N.C.) ^*1
	판정·바이너리 출력	바이너리 출력	측정값 데이터 출력 (21bit) OUT 선택 가능 NPN 오픈 컬렉터 출력 ^*1
		스트로브 출력	NPN 오픈 컬렉터 출력 ^*1
		바이너리 선택 출력
		바이너리 선택 입력	무전압 입력 ^*1
RS-232C 인터페이스			측정 데이터 출력 및 제어 입출력 (전송 속도 115200bit/s까지 선택 가능)	없음
USB 인터페이스			USB2.0 HI-SPEED 대응 (USB1.1 Full-SPEED 호환)
Ethernet 인터페이스			100Base-TX/10Base-T
주요 기능			12OUT 동시 측정 기능, 연산 기능, 평균 기능, 필터 기능, 교정 기능, 계측 기능, 측정값 알람 설정 기능, 공차 설정 기능, 오토 제로 기능, 데이터 스토리지 기능, 광량 모니터 기능, 8프로그램 메모리 기능, 간섭계 모드, 마스터 기능, 설정 지원 소프트웨어 접속 기능 기타
정격	전원 전압		24 VDC ±10 %, 리플 (P-P) 10 % 이하	메인 컨트롤러에서 공급
	소비 전류		헤드 1 대 접속 시 0.6 A 이하, 헤드 6 대 접속 시 1.5 A 이하
내환경성	사용 주위 온도		0 ~ +50 °C^*2
	사용 주위 습도		35 ~ 85 % RH (결로되지 않을 것)
	내진동		10 ~ 55 Hz, 복진폭 0.5 mm, X,Y,Z 각 방향 2 시간
중량			약 600 g	약 300 g
^1 ・NPN 오픈 컬렉터의 출력 정격 최대 50 mA (40 V 이하), 잔류 전압 0.5 V 이하 ・무전압 입력 정격 ON 전압 1 V 이하, OFF 전류 0.6 mA 이하 ・본 기기의 각 입출력 회로 간은 일부의 내부가 공통으로 되어 있습니다. 배선이나 외부 기기 사이의 전위차로 인해 내부의 공통 단자 간에 전위차가 발생하지 않도록 해주십시오. ^2 증설 컨트롤러 수가 2 대 이상인 경우 사용 주위 온도는 0 ~ +40 °C 입니다. ^3 SI-F1000 단독으로 사용할 수 있습니다. 측정값 표시 및 설정 변경은 표시 패널(SI-FD500) 또는 설정 지원 소프트웨어(SI-H1)에서 가능합니다. ^4 증설 컨트롤러는 메인 컨트롤러에 최대 4대까지 접속할 수 있습니다.

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