분광 간섭식 웨이퍼 두께 측정기

SI-F80R 시리즈

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사양 분광 간섭식 웨이퍼 두께 측정기 SI-F80R 시리즈

모델

SI-F80R

이미지

종류

웨이퍼 두께 측정 타입

측정 범위

10 ~ 310 µm (n = 3.5 일 때)*1

검출 가능 거리

80~81.1 mm

측정용 광원

적외 SLD 출력 0.6mW 1등급 레이저 제품(IEC60825-1)

스폿 직경

ø25µm *2

직선성

±0.1µm (n=3.5일 때) *3

분해능

0.001µm *4

샘플링 주기

200µs

LED 표시

측정 중심 부근 : 녹색 점등/측정 범위 내 : 주황색 점등/측정 범위 외 : 주황색 점멸

온도 특성

내환경성

보호 구조

IP64

사용 주위 조도

백열 램프, 형광등: 10,000 lux 이하

사용 주위 온도

0 ~ +50 °C

사용 주위 습도

35 ~ 85 % RH (결로되지 않을 것)

내진동

10 ~ 55 Hz, 복진폭 1.5 mm, X,Y,Z 각 방향 2 시간

재질

SUS

중량

약 70g (케이블 포함)

*1 굴절률 n = 3.5 일 때의 두께 측정 범위를 나타낸 것입니다. (굴절률 n = 1 일 때의 두께 측정 범위는 35 ~ 1,100 µm 입니다.)
*2 측정 범위 내에서의 최소 스폿 직경을 나타냅니다.
*3 측정 대상은 글라스 판 2장의 틈새 두께이며 평균 횟수 256회로 설정해서 측정하고 굴절률 n=3.5로 환산한 값
*4 측정 대상은 t=0.3의 글라스 두께이며 검출 가능 거리 내에서 평균 횟수 4096회로 설정하여 측정한 경우의 값

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