사양 분광 간섭식 웨이퍼 두께 측정기 SI-F80R 시리즈

모델

SI-F80R

이미지

종류

웨이퍼 두께 측정 타입

측정 범위

10 ~ 310 µm (n = 3.5 일 때)^*1

검출 가능 거리

80~81.1 mm

측정용 광원

적외 SLD 출력 0.6mW 1등급 레이저 제품(IEC60825-1)

스폿 직경

ø25µm ^*2

직선성

±0.1µm (n=3.5일 때) ^*3

분해능

0.001µm ^*4

샘플링 주기

200µs

LED 표시

측정 중심 부근 : 녹색 점등/측정 범위 내 : 주황색 점등/측정 범위 외 : 주황색 점멸

온도 특성

―

내환경성

보호 구조

IP64

사용 주위 조도

백열 램프, 형광등: 10,000 lux 이하

사용 주위 온도

0 ~ +50 °C

사용 주위 습도

35 ~ 85 % RH (결로되지 않을 것)

내진동

10 ~ 55 Hz, 복진폭 1.5 mm, X,Y,Z 각 방향 2 시간

재질

SUS

중량

약 70g (케이블 포함)