프리 앵글 관찰 시스템(Z축 전동 스테이지)

모델

VHX-S50

대응 렌즈

VH-Z00W/VH-Z20W/VH-Z50W/VH-Z100W/VH-Z100UW/기타

모터

2상 스테핑 모터

스테이지 이동량

전동 : 29mm, 수동 : 33mm

분해능

1 µm (typ)

내환경성

주위 온도

+5 ~ +40 °C

사용 주위 습도

35 ~ 80 % RH (결로되지 않을 것)

중량

13.5 kg