3D 자동 측정 유닛(컨트롤러)

모델

VHX-S15CE

모터

5상 스테핑 모터

위치 결정 정밀도

6µm^*1

반복 정도

±0.5µm^*1

스테이지 이동량

15 mm

분해능

0.05 µm/펄스

적재 하중

5kg

정격

전원 전압

100 ~ 240 VAC, 50/60 Hz

소비 전력

70VA

내환경성

주위 온도

+5 ~ +40 °C

사용 주위 습도

35 ~ 80 % RH (결로되지 않을 것)

중량

컨트롤러부: 3 kg