디지털 마이크로스코프
VHX-6000 시리즈
대형 프리 앵글 관찰 시스템 (XYZ 전동) VHX-S660E
사양
모델 | VHX-S660E | |||
XYθ 스테이지 | XY 스테이지 전동/수동 | 전동 | ||
XY 스테이지 이동량 | ±50 mm | |||
XYθ 스테이지 사이즈 | 윗면 233×185 mm (중앙 원판 ø168) | |||
투과 조명 관찰 대응 배율 | 20배 이상 | |||
Z 스테이지 | Z 스테이지 전동/수동 | 전동 | ||
Z 자동 스테이지 모터 | 5상 스테핑 모터 | |||
Z 자동 스테이지 이동 속도 | 17 mm/sec(최대) | |||
Z 스테이지 이동량 | 49 mm | |||
적재 하중 | 5 ㎏ | |||
XYθ 스테이지 | XY 자동 스테이지 모터 | 2상 스테핑 모터 | ||
XY 자동 스테이지 분해능 | 1 µm(typ.) | |||
XY 자동 스테이지 이동 속도 | 20 mm/sec(최대) | |||
Z 스테이지 | Z 자동 스테이지 분해능 | 0.1 µm(typ.) | ||
전원 | 전원 전압 | 100-240 VAC 50/60 Hz | ||
소비 전력 | 60 VA | |||