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컬러 3D 레이저 마이크로스코프VK-8700/9700 GenerationII 시리즈

전동 X-Y 스테이지

VK-S110

[단종 모델]

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사양

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모델

VK-S110

이동 방향

X·Y축

스트로크

100×100 mm

테이블 사이즈

140×140 mm

가이드 방법

크로스 롤러 가이드

피드 방법

정밀 폴 나사, 리드 1 mm

축 변환 관성

X축 9.29×10-7kg·m2, Y축 9.62×10-7kg·m2

모터

0.35A/상, 5상 스테핑 모터
5선 펜타곤 결선, 유지 토크:0.017 N·m,
로터 관성:4.2 g·cm2

분해도

1 µm

위치 결정 정밀도

10 µm

반복 위치 결정 정밀도

±1 µm

반동

1 µm

로스트 모션

3 µm

직관성 (수직·수평)

15 µm

평행성 A

X: 20 µm, Y: 20 µm

XY 직각도

15 µm

내가중

3 kg

주 재료·개관

알루미늄 합금·블랙 알루마이트 마무리

중량

3.7 kg

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마이크로스코프 / 3D 형상 측정기