사양 앰프 분리형 기체용 유량 센서 FD-V40 시리즈

모델

FD-A1

FD-A10

FD-A50

FD-A100

FD-A250

FD-A600

FD-A10AR

FD-A50AR

FD-A100AR

이미지

종류

공기・질소 (N₂) 용

아르곤 (Ar) 용

검출 범위

30 ~ 1,000 mL/min (std)^*1

0.3 ~ 10 L/min (std)^*1

1.5 ~ 50 L/min (std)^*1

3 ~ 100 L/min (std)^*1

7 ~ 250 L/min (std)^*1

18 ~ 600 L/min (std)^*1

0.3 ~ 10 L/min (std)^*1

1.5 ~ 50 L/min (std)^*1

3 ~ 100 L/min (std)^*1

제로컷 유량

30 mL/min (std)

0.3 L/min (std)

1.5 L/min (std)

3 L/min (std)

7 L/min (std)

18 L/min (std)

0.3 L/min (std)

1.5 L/min (std)

3 L/min (std)

적응 유체

공기・질소 (N₂)

공기・질소 (N₂) /아르곤 (Ar)^*4

공기・질소 (N₂)

공기・질소 (N₂) /아르곤 (Ar)^*4

사용 가능 유체

더스트 및 오일 미스트를 함유하지 않은 청정 기체 (압축 공기의 경우 ISO 등급 1.1.2 ~ 1.6.2)^*2

사용 유체 온도

0 ~ +50 °C (결로・결빙되지 않을 것)

접속 구경

Rc (PT) 1/4

Rc (PT) 1/2

Rc (PT) 1/4

표시 방식

플로 인디케이터: 녹색 LED (x4), 출력 표시: 적색 LED

내환경성

내압력

1.0 MPa

사용 압력 범위

-0.07 ~ 0.7 MPa

사용 주위 온도

0 ~ +50 °C (결빙되지 않을 것)

사용 주위 습도

10 ~ 85 % RH (결로되지 않을 것)

내진동

10 ~ 55 Hz, 복진폭 1.5 mm, X,Y,Z 각 축 3 시간^*3

10 ~ 55 Hz, 복진폭 0.75 mm, X,Y,Z 각 축 3 시간^*3

10 ~ 55 Hz, 복진폭 1.5 mm, X,Y,Z 각 축 3 시간^*3

내충격

300 m/s², X,Y,Z 각 축 각 방향 10 회 합계 60 회

재질

유로부: 알루미늄, SUS303, SUS304, 폴리에텔이미드, 불소 고무, 실리콘
배관부: 알루미늄 다이캐스트, 케이스부: 폴리설폰・PBT

부속품

헤드 커넥터 1 개, 단위 전환 스티커 1 장

헤드 커넥터 1 개

중량

약 125 g (커넥터 케이블 3 m 포함)

약 190 g (커넥터 케이블 3 m 포함)

약 125 g (커넥터 케이블 3 m 포함)

모델

FD-V40A^*1

FD-V45A^*1

FD-V40AP^*1

FD-V45AP^*1

이미지

종류

DIN 설치

패널 설치

DIN 설치

패널 설치

소비 전류

12V 시

일반

1500mW (125mA) 이하

에코 모드

1320mW (110mA) 이하

24 V 시

일반

2000mW (83mA) 이하

에코 모드

1700mW (70mA) 이하

검출 범위

FD-A1: 30 ~ 1,000 mL/min (std)
FD-A10/A10AR: 0.3 ~ 10 L/min (std)
FD-A50/A50AR: 1.5 ~ 50 L/min (std)
FD-A100/A100AR: 3 ~ 100 L/min (std)
FD-A250: 7 ~ 250 L/min (std)
FD-A600: 18 ~ 600 L/min (std)

표시 방식

3 자리 7 세그먼트 LED 에 의한 2 단 표시 (상단: 적색, 하단: 녹색), 표시 갱신 주기: 5 회/초

동작 표시등

적색 LED × 2 (제어 출력 1, 2), 녹색 LED (적산 표시)

분해능

FD-A1: 1 mL
FD-A10/A10AR: 0.01 L
FD-A50/A50AR/A100/A100AR: 0.1 L
FD-A250/A600: 1 L

응차 (히스테리시스)

가변

응답 시간 (채터링 방지 기능)

HSP (5 ms), 0.02, 0.1, 1, 5 초 중에서 선택

적산 샘플링 주기

30 ms

적산 데이터 기억

1 분마다 메모리에 입력

적산 표시 단위

FD-A1: 1, 10, 100, 1,000, 10,000 (mL) 중에서 선택 가능
FD-A10/A10AR: 0.01, 0.1, 1, 10, 100 (L) 중에서 선택 가능
FD-A50/A50AR: 0.1, 1, 10, 100, 1,000 (L) 중에서 선택 가능
FD-A100/A100AR: 0.1, 1, 10, 100, 1,000 (L) 중에서 선택 가능
FD-A250/A600: 1, 10, 100, 1,000, 10,000 (L) 중에서 선택 가능

적산 리셋 입력

입력 시간 20 ms 이상 (아날로그 출력과 전환식)

제어 출력/적산 펄스 출력

NPN 오픈 컬렉터 최대 100 mA (40 V 이하), 잔류 전압 1 V 이하, 2 출력 (N.O./N.C. 전환 가능)

PNP 오픈 컬렉터 최대 100 mA (30 V 이하), 잔류 전압 1 V 이하, 2 출력 (N.O./N.C. 전환 가능)

아날로그 출력

4 ~ 20 mA 최대 부하 저항 260 Ω

반복 정도

FD-A1/A10/A10AR/A50/A50AR/A100A/100AR: ±0.5 % F.S. 이하
FD-A250/A600: ±1 % F.S. 이하
(사용 주위 온도 25 °C 일 때)

정격

전원 전압

12 - 24 VDC, 리플 (P-P) 10 % 이하

내환경성

사용 주위 온도

0 ~ +50 °C (결빙되지 않을 것)

사용 주위 습도

35 ~ 85 % RH (결로되지 않을 것)

내진동

10 ~ 55 Hz, 복진폭 1.5 mm, X,Y,Z 각 축 3 시간

재질

본체, 커버: 폴리카보네이트, 키 톱: 실리콘 고무

부속품

고정 브래킷, 전원 케이블, 취급 설명서

패널 설치 브래킷, 전면 보호 커버, 전원 케이블, 취급 설명서

고정 브래킷, 전원 케이블, 취급 설명서

패널 설치 브래킷, 전면 보호 커버, 전원 케이블, 취급 설명서

중량

약 85 g (전원 케이블 포함)

약 85 g (패널 설치 브래킷, 전면 보호 커버, 전원 케이블 포함)

약 85 g (전원 케이블 포함)

약 85 g (패널 설치 브래킷, 전면 보호 커버, 전원 케이블 포함)

모델

FD-C1

이미지

사용 가능 유체

압축 공기, 질소 (N₂)

접속 구경

Rc (PT) 1/4, R (PT) 1/4

내환경성

사용 압력 범위

0.05 ~ 0.7 MPa

사용 주위 온도

-5 ~ +50 °C (결로·결빙되지 않을 것)

재질

본체: PBT, 금속부: 황동 니켈 도금/내부 O 링, 패킹: 니트릴 고무

중량

약 60 g

모델

FD-C5

이미지

사용 가능 유체

공기, 질소 (N₂)

적응 튜브 사이즈

ø8 mm (5/16")

튜브 공차

나일론 튜브: ±0.1 mm 이내, 우레탄 튜브: ±0.15 mm 이내

최대 처리 유량

100 L/min (std)^*1

필터막 면적

110 cm²

여과 정도

0.01 µm

최대 사용 압력

0.8 MPa

내환경성

사용 주위 온도

0 ~ +50 °C

재질

케이스: 폴리카보네이트, O링: NBR, 조인트부: PBT, 스테인리스 중공사막 필터: 폴리프로필렌, 포팅제: 폴리우레탄

중량

약 15 g