진공 챔버 내에서의 전극 두께 측정(진공 증착)
전고체 배터리의 일종인 리튬 금속 배터리는 음극재를 진공 챔버 내에서 성막하므로, 공정 조건에 따라 막 두께가 변동되어 조건 설정과 수율 관리가 어려웠습니다.
진공 환경에 대응하는 레이저 동축 변위 센서 CL-S015는 챔버 내부에서도 막 두께를 인라인으로 측정할 수 있습니다. 따라서 증착 장치의 조건 설정을 최적화하고, 두께 이상을 조기에 검출하여 수율 향상에 기여할 수 있습니다.
전고체 배터리의 일종인 리튬 금속 배터리는 음극재를 진공 챔버 내에서 성막하므로, 공정 조건에 따라 막 두께가 변동되어 조건 설정과 수율 관리가 어려웠습니다.
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