뷰포트를 통한 박막의 펄럭임 측정(진공 증착)

진공 챔버/건조로의 뷰포트를 통해 전극의 흔들림을 측정합니다. 챔버 내에서 전극이 흔들리면 검출면이 기울어져, 기존 센서로는 안정적인 검출이 어려웠습니다.
레이저 동축 변위 센서 CL 시리즈는 각도 특성이 우수하므로, 전극이 흔들려 검출면이 기울어진 상태에서도 변위를 안정적으로 검출할 수 있습니다.