진공 내 스테이지의 위치와 기울기 검출

레이저 동축 변위 센서 CL 시리즈의 초고진공 대응 헤드를 사용하면 진공 환경 내에서도 스테이지 위치를 고정도로 측정할 수 있습니다.
또한 4방향에 대응하는 L자형 어태치먼트로 설치 자유도를 높일 수 있으며, 센서 케이블은 금속제 튜브로 보호되어 장치 내 배선도 안심하고 구성할 수 있습니다.