진공 내 로봇 암의 높이·위치 측정

진공 환경 내에서 로봇 암의 움직임을 측정합니다. 진공 중에는 대기 중과 다른 거동이 발생해도 외부에서 확인하기 어려워, 장치의 움직임을 정량적으로 파악하기 어려웠습니다.
공초점 변위 센서 CL 시리즈의 초고진공 대응 헤드는 진공 환경 내에서도 로봇 암의 움직임을 포착할 수 있습니다. 또한 센서 헤드가 초소형이므로, 장치 내 한정된 공간에도 설치할 수 있습니다.