뷰포트를 통한 스테이지의 높이 측정

뷰포트를 통해 진공 환경 내의 스테이지 높이를 측정합니다. 진공 챔버 외부에서 측정해야 하므로, 기존 방식으로는 측정 거리와 정밀도를 동시에 만족하기 어려웠습니다.
레이저 동축 변위 센서 CL 시리즈는 장거리 측정이 가능한 센서 헤드를 라인업하고 있으며, 새롭게 설계된 광학계로 롱 레인지와 고정도를 모두 실현하여 진공 환경에서도 안정적으로 높이를 측정할 수 있습니다.