다이렉트 노광 시의 초점 조정
노광 전에 웨이퍼까지의 거리를 측정하여 장치의 Z축을 조정합니다. 접촉식 측정은 웨이퍼에 스트레스/흠집을 유발할 우려가 있어 적용이 어려웠습니다.
레이저 동축 변위 센서 CL 시리즈를 사용하면 웨이퍼까지의 거리를 비접촉으로 측정할 수 있으므로, 대상물 손상 우려 없이 Z축을 정밀하게 조정할 수 있습니다. 또한 소형 헤드이므로 장치 내 한정된 공간에도 설치할 수 있습니다.
노광 전에 웨이퍼까지의 거리를 측정하여 장치의 Z축을 조정합니다. 접촉식 측정은 웨이퍼에 스트레스/흠집을 유발할 우려가 있어 적용이 어려웠습니다.
레이저 동축 변위 센서 CL 시리즈를 사용하면 웨이퍼까지의 거리를 비접촉으로 측정할 수 있으므로, 대상물 손상 우려 없이 Z축을 정밀하게 조정할 수 있습니다. 또한 소형 헤드이므로 장치 내 한정된 공간에도 설치할 수 있습니다.
