노즐의 높이 측정
안정적인 도포 정도를 유지하려면 도포 헤드와 웨이퍼 간 거리를 정확하게 조정해야 합니다. 하지만 실리콘 웨이퍼와 같은 경면은 반사 영향으로 안정적인 거리 측정이 어려웠습니다.
레이저 동축 변위 센서 CL 시리즈는 소형 헤드로 장치에 쉽게 설치할 수 있으며, 경면 대상물도 정확하게 거리를 측정할 수 있으므로 도포 조건을 안정적으로 유지할 수 있습니다.
안정적인 도포 정도를 유지하려면 도포 헤드와 웨이퍼 간 거리를 정확하게 조정해야 합니다. 하지만 실리콘 웨이퍼와 같은 경면은 반사 영향으로 안정적인 거리 측정이 어려웠습니다.
레이저 동축 변위 센서 CL 시리즈는 소형 헤드로 장치에 쉽게 설치할 수 있으며, 경면 대상물도 정확하게 거리를 측정할 수 있으므로 도포 조건을 안정적으로 유지할 수 있습니다.
