진공 내 웨이퍼의 휨 측정

레이저 동축 변위 센서 CL 시리즈의 초고진공 대응 헤드를 사용하면 진공 환경 내에서도 웨이퍼의 휨/변형을 고정도로 측정할 수 있어, 지금까지 어려웠던 장치·대상물의 거동을 정량적으로 파악할 수 있습니다.
또한 초소형 헤드와 L자형 어태치먼트를 조합해, 장치 내부의 복잡하고 협소한 공간에도 유연하게 설치할 수 있습니다.