몰드 웨이퍼의 두께 측정

몰드 후 웨이퍼 두께를 인라인으로 측정합니다. 기존에는 면내 두께 분포를 비접촉으로 다점 측정하기 어려웠습니다.
레이저 동축 변위 센서 CL 시리즈는 삽입 측정 전용 지그를 통해 고정도로 다점 두께 측정이 가능하므로, 면내 두께 분포를 비접촉으로 정량화할 수 있습니다.