궤도 홈의 위치 측정(표리 판별)

궤도 홈의 위치를 측정하여 표리를 판별합니다. 기존에는 육안이나 화상 처리로 검사했지만 치수 차가 미세해서 잘못 판정하는 경우가 있었습니다. TM-X5000 시리즈는 트레이서빌리티에 대응하는 측정기로, 번거로운 캘리브레이션은 전혀 필요 없고 µm 단위의 측정 결과를 근거로 확실하게 표리를 판별할 수 있습니다. 또한, 측정부에는 더블 텔레센트릭 렌즈가 탑재되어 있어 측정 대상 물체의 위치가 어긋나 있어도 안정적으로 검사할 수 있습니다.