기판의 휨 측정

기존에는 1차원 레이저 변위 센서로 스캔하여 측정했습니다. LJ-X 시리즈는 라인 레이저이기 때문에 헤드를 움직이지 않고도 캐리어와 기판의 단차를 측정할 수 있습니다. 또한 반송을 정지시키지 않고 측정할 수 있으므로 검사 시간이 단축됩니다.