폴리싱 후의 웨이퍼 두께 측정

연마를 마친 웨이퍼는 두께의 평탄성이 요구됩니다. 분해능 0.001μm의 초고정도 측정을 할 수 있으며 발열이 전혀 없는 센서 헤드로 안정적으로 두께 평탄도를 측정할 수 있습니다.

마이크로 헤드형 분광 간섭 레이저 변위 센서

SI-F 시리즈