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SI-F 시리즈에는 ø2mm의 초소형 센서 헤드가 준비되어 있으므로 기존의 설비에 추가 설치하기 용이합니다. 또한 분해능 0.001µm의초고정도 측정으로 서브미크론의 변화도 정확하게 측정할 수있습니다.
마이크로 헤드형 분광 간섭 레이저 변위 센서
SI-F 시리즈
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