스테이지 위치 정도 측정

스테이지 정지 위치 정도를 비접촉으로 측정합니다. CL 시리즈는 센서 헤드가 소형이기 때문에 여러 대를 설치해도 공간을 차지하지 않습니다. 또한, 멀티 컬러 공초점 방식으로 넓은 범위를 고정도로 측정할 수 있습니다.