스핀 코터의 높이 측정

안정적인 도포 정도를 유지하기 위해 도포 헤드와 웨이퍼의 정확한 거리 조정이 중요합니다. CL 시리즈는 소형 헤드이므로 장비에 설치하기도 간단하며 실리콘 웨이퍼와 같은 경면 대상 물체도 정확하게 거리를 측정할 수 있습니다.