레티클의 얼라인먼트

ø8 mm의 소형 센서 헤드를 3방향에 배치하여 각 센서 헤드와 대상 물체까지의 거리 정보를 통해 위치 및 각도를 정확하게 산출할 수 있습니다. SI-F 시리즈는 분해능 0.001µm의 초고정도로 최대 6대의 헤드까지 동시에 측정할 수 있습니다.