뷰 포트 투과 웨이퍼의 위치 검출

LK-G 시리즈는 설치 거리 1 m의 초장거리 레인지 센서 헤드가 준비되어 있습니다. 뷰 포트를 투과하여 측정할 수 있어 진공이나 고온 환경의 웨이퍼 높이 및 기울기 등을 고정도로 검출할 수 있습니다.

고속•고정도 CCD레이저 변위 센서

LK-G3000 시리즈