석영 글라스를 투과하여 웨이퍼 휨 측정

진공이나 고온 환경에 있는 웨이퍼의 휨을 석영 글라스를 투과하여 측정합니다. CL 시리즈는 소형 헤드이므로 뷰 포트가 있는 한정된 공간에 설치할 수 있습니다. 또한, 다양한 표면 상태의 대상 물체를 측정할 수 있습니다.