어닐링 장비의 Z축 위치 결정

레이저 어닐링 시의 웨이퍼 높이를 측정합니다. CL 시리즈는 소형 헤드이므로 장비 내의 한정된 공간에 설치할 수 있습니다. 또한 동축 측정 방식으로 대상 물체까지의 거리가 달라져도 스폿 위치가 바뀌지 않아 항상 정확한 측정을 실현합니다.