연마 패드의 표면 형상 측정

사용과 함께 마모되는 연마 패드의 상태를 확인하려면 장비에서 분리해 측정해야 하므로 공정 수와 시간이 과제였습니다. CL 시리즈의 소형 센서 헤드는 장비에 직접 장착하여 측정할 수 있습니다. 기기상에서 연마 패드의 홈 깊이 등 형상을 측정할 수 있습니다.