웨이퍼의 두께 측정

연마를 마친 웨이퍼에는 매우 높은 두께 평탄성이 요구됩니다. SI-F 시리즈는 분해능 0.001µm의 초고정도로 측정할 수 있습니다. 또한, 광화이버를 이용한 센서 헤드는 발열이 전혀 없어 안정적으로 두께의 평탄도를 측정할 수 있습니다.