웨이퍼 가장자리의 형상 측정
대구경 웨이퍼 연삭 시 반송 리스크나 휨을 감소시키기 위해 바깥 둘레 부분을 몇 mm 남기고 가공하는 경우가 있습니다. LJ-X 시리즈는이 바깥 둘레 부분의 폭이나 단차 등을 순식간에 측정할 수 있습니다. 웨이퍼를 회전시키면서 측정하여 전체 형상을 검사할 수 있습니다.
대구경 웨이퍼 연삭 시 반송 리스크나 휨을 감소시키기 위해 바깥 둘레 부분을 몇 mm 남기고 가공하는 경우가 있습니다. LJ-X 시리즈는이 바깥 둘레 부분의 폭이나 단차 등을 순식간에 측정할 수 있습니다. 웨이퍼를 회전시키면서 측정하여 전체 형상을 검사할 수 있습니다.
