글라스 높이 측정

웨이퍼와 접합할 때의 서포트 글라스 높이를 측정합니다. SI-F 시리즈는 ø8mm인 소형 센서 헤드가 준비되어 있으므로 분해능 0.01µm의 고정도로 측정할 수 있습니다. 또한, 투명체의 표면 높이도 안정적으로 검출할 수 있습니다.