레이저 스크라이버의 Z축 조정

가공 전에 웨이퍼 높이를 측정함으로써 장비의 Z축을 조정합니다. CL 시리즈를 이용해 비접촉으로 측정하면 대상 물체가 스트레스를 받거나 흠집이 생길 우려가 없습니다. 또한, 소형 헤드이므로 장비 내의 한정된 공간에도 설치할 수 있습니다.