와이어 본딩 높이·형상 측정

소자의 슬림화를 배경으로 와이어 피크 높이 검사의 중요성은 높아지고 있습니다. 동축으로 면 내의 일괄 측정을 할 수 있는 WI 시리즈는 광택이 있는 와이어 피크를 순식간에 포착하여 검사할 수 있습니다. 또한, 최소 측정 피치가 4미크론으로 세경 와이어에도 대응할 수 있습니다.

3D 백색 간섭 변위 센서

WI-5000 시리즈

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