로봇 핸드의 잔류 진동 검사

웨이퍼나 레티클의 반송 등에서는 로더 정지 시의 잔류 진동이 잦아든 후에 다음 프로세스로 진행하는 것이 중요합니다. 잔류 진동 유무를 레이저 변위 센서로 확인하여 다음 공정에서 발생하는 장비 오류 및 가공 불량을 사전에 방지할 수 있습니다.