로봇 핸드의 위치 검사

로봇 핸드의 높이나 위치가 바뀌면 웨이퍼 캐리어 안에서 웨이퍼와 충돌할 위험이 있기 때문에 정기적으로 측정해야 합니다. CL 시리즈는 동축 측정 원리의 소형 헤드이기 때문에 복잡한 장비 내의 좁은 공간에도 설치할 수 있습니다.