전극의 적층 어긋남 검사

적층 공정 후 적층 어긋남 유무를 검사합니다. LJX 시리즈는 최소 2.5μm의 X축 분해능으로 전극 하나하나의 형상을 정확하게 측정할 수 있습니다.

초고해상도 인라인 프로파일 측정기

LJ-X8000 시리즈

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