세라믹 패키지의 평탄도 측정

세라믹 패키지의 평탄도를 측정합니다. 대상 물체를 면으로 포착하여 최소 제곱법으로 산출한 기준 평면에 대해 평면도를 측정할 수 있습니다. 대상 물체 설치 시의 기울기로 인한 오차의 영향을 무시하고 정확하게 검사할 수 있습니다.