MEMS 미러의 기울기 검사

미러의 평탄도를 측정합니다. 완전 동축으로 측정할 수 있는 백색 간섭 방식을 채택한 WI 시리즈는 경면이나 수지 등 다양한 대상 물체를 정확하게 측정할 수 있습니다.

3D 백색 간섭 변위 센서

WI-5000 시리즈

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