SiC 웨이퍼의 두께 측정

SiC 웨이퍼의 두께를 측정합니다. 발열하지 않는 센서 헤드, 두께 측정 시 전용 센서 헤드 고정 지그 및 광축 조정 기능을 탑재하여 지금까지 없었던 고정도 두께 측정을 실현했습니다.

멀티 컬러 레이저 동축 변위 센서

CL-3000 시리즈