고정도 스테이지의 위치 결정

분해능 0.25 μm의 초고정도로 측정할 수 있습니다. 센서 헤드가 발열하지 않으므로 주위 환경에 대한 온도의 영향도 없고, 온도 드리프트로 인한 오차도 없이 측정할 수 있습니다.

마이크로 헤드형 분광 간섭 레이저 변위 센서

SI-F 시리즈