BG 테이프 부착 웨이퍼의 두께 측정

헤드가 작으므로 대상 물체에서 80 mm 떨어진 곳에 설치할 수있습니다. 또한 BG 테이프의 영향을 받지 않고 웨이퍼 두께를 직접 측정할 수 있기 때문에 항상 측정하면서 연마할 수 있습니다.

마이크로 헤드형 분광 간섭 레이저 변위 센서

SI-F 시리즈