로봇 핸드의 위치·진동 측정

웨이퍼 반송 등에서는 로봇 정지 시의 잔류 진동이 잦아든 후에 다음 프로세스로 진행하는 것이 중요합니다. 잔류 진동이 잦아들었는지를 레이저 변위 센서로 확인하여, 다음 공정에서 발생하는 장비의 오류 및 가공 불량을 사전에 방지할 수 있습니다.