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대상 물체의 90° 위에서 빛을 조사하여 본딩 와이어의 높이 및 루프 형상을 측정할 수 있습니다. 또한, XY 측정 툴을 사용하면 접합부의 범프 직경도 측정할 수 있습니다.
3D 백색 간섭 변위 센서
WI-5000 시리즈
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